紫外光學儀器分辨率測試儀專利機構

 
 
 
 
申請（專利）號：CN200810050938.9申請日：2008.07.08
公開（公告）號：CN101308059公開（公告）日：2008.11.19
主分類號：G01M11/02(2006.01)I范疇分類：
分類號：G01M11/02(2006.01)I
優先權：
申請（專利權）人：中國科學院長春光學精密機械與物理研究所
地址：130033吉林省長春市東南湖大路16號
國省代碼：吉林；22
發明（設計）人：王淑榮；王加朋；李福田
國際申請：
國際公布：
進入國家日期：
專利代理機構：長春菁華專利商標代理事務所
代理人：趙炳仁
分案申請號：
頒證日：






摘要：
本發明涉及一種紫外光學儀器分辨率測試儀，氘燈光源通過機械可變光闌、石英聚光鏡按1∶1比例成像于紫外單色儀的入射狹縫組機構上，由紫外單色儀出射狹縫處發射出的紫外光均勻照射在紫外漫透射器上，紫外漫透射器和紫外分辨率板通過卡具壓緊在一起，固定在置于出射狹縫之后的二維調節平臺上，經過紫外漫透射器的漫透射作用，紫外分辨率板局部被均勻照明，紫外分辨率板經過平面反射鏡和非球面準直鏡形成無限遠紫外分辨目標；待測光學儀器平臺置于光學導軌上，光學導軌軸線與平行光路的光軸重合。本發明采用非球面設計反射式平行光管，形成無窮遠紫外分辨率目標。不僅減少了設計和加工成本，而且使紫外能量得到了程度的利用。
主權項：
一種紫外光學儀器分辨率測試儀，包括氘燈光源(1)、機械可變光闌(2)、石英聚光鏡(3)、由入射狹縫組機構(4)和準直反射鏡(5)、與波長驅動機構(18)相連接的閃耀光柵(6)、成像反射鏡(8)、平面反射鏡(9)、出射狹縫(10)構成的紫外單色儀、紫外漫透射器(11)、紫外分辨率板(12)、二維調節平臺(13)、轉折平面反射鏡(14)、非球面準直鏡(15)、光學導軌(16)、待測光學儀器平臺(17)、圖像采集系統(19)和計算機(20)。
其特征在于，所述的氘燈光源(1)通過機械可變光闌(2)、石英聚光鏡(3)按1∶1比例成像于所述的紫外單色儀的入射狹縫組機構(4)上，由紫外單色儀出射狹縫(10)處發射出的紫外光均勻照射在紫外漫透射器(11)上，紫外漫透射器(11)和紫外分辨率板(12)通過卡具壓緊在一起，固定在二維調節平臺(13)之上，并將二維調節平臺(13)置于出射狹縫(10)之后，經過紫外漫透射器(11)的漫透過作用，紫外分辨率板(12)局部被均勻照明，紫外分辨率板(12)經過轉折平面反射鏡(14)和非球面準直鏡(15)形成無限遠紫外分辨目標；待測光學儀器平臺(17)置于光學導軌(16)上，光學導軌(16)軸線與平行光路的光軸重合；所述的波長驅動機構(18)和圖像采集系統(19)分別與計算機(20)控制連接。http://m.jsfm937.cn